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九州ju111net手机登录面向国内外的IC制造、光学、太阳能、超精密制造等行业,致力于为行业提供整机装备、核心子系统、关键零部件和定制服务,主营业务包含高端整机、超精密运动系统、精密仪器设备和高端特种制造等方面。华卓精科以国内著名高校的原发技术为基础,经过多年技术攻关和客户实用,形成了坚实规范的技术研发体系,现在已经成功推出了隔振、超精密运动系统、关键零部件等系列化产品,广泛应用于各类企事业单位 ...

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  • 超高端精密运动控制产品

    超高端精密运动控制产品

    中国首家——磁悬浮双工件台提供商
    DWS系列——适用于干式步进扫描光刻机
    DWSI系列——适用于浸没式步进扫描光刻机
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  • 高端设备类产品

    高端设备类产品

    整体化的系统工艺解决方案
    满足从工艺试验研究到工业级产品的要求
    独特的工艺参数调节与优化匹配技术
    从纳米到微米的大范围退火深度
    高的退火激活率
    标准化的Cassette/FOUP晶圆传输
    完全兼容SEMI行业标准
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  • 超精密运动产品

    超精密运动产品

    高精度
    重复定位精度:优于1μm
    亚微米级重复定位精度、直线度和平面度
    高九州ju111net性能
    1g加速度,速度稳定性低于0.1%
    长期稳定性
    非接触的导轨、驱动、测量设计
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  • 隔振产品

    隔振产品

    高性能空气弹簧
    固有频率可达2.5Hz,最高隔振效率达90%
    自动调节水平
    高精度水平阀,自动调节水平,使台面轻松恢复水平状态
    限位保护
    独特的弓形限位保护装置,确保平台移动或工作中安全
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  • 超薄片吸附解决方案

    超薄片吸附解决方案

    可吸附物体:绝缘体、半导体、导体
    工作环境:真空、等离子体、大气
    吸附特点:柔性均匀吸附、不损伤工件
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  • 制造中心

    制造中心

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2016

  • 未来精密之“芯”,牵动国人心——朱煜教授专访

  • 华卓精科:中国光刻机核心零部件顶尖供应商

  • 华卓精科LOGO变更声明

  • 华卓精科携高精尖产品亮相“双创周”

  • 朱煜:精密事业

  • 朱煜:5年攻坚,我们实现了“皇冠明珠”国产化

  • 华卓精科亦庄园区暨光刻机工件台产业化基地 奠基仪式隆重举行

  • 2017超精密技术苏州研讨会成功举办

  • 环境影响报告表全本信息公开

  • 校园招聘

  • 2017年上海双展

  • 华卓精科——壮志毕发 砥砺奋进

  • 中国科技自动化联盟会员

  • 习近平倡议,中国高端芯片联盟正式成立

  • 清华光刻机双工件台技术成果亮相国家“十二五”科技创新成就展

  • 中关村高新技术企业

  • 2016年上海SEMICON China&慕尼黑光博会

  • 2016猴年大吉

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